[发明专利]一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法，包括以下步骤：1）获得含有大颗粒的溶液A；2）获得含有小颗粒的溶液B；3）将溶液A和溶液B混合，搅拌，获得混合溶液C；4）将混合溶液C涂覆在光伏玻璃基底的一侧，之后将溶液B涂覆在光伏玻璃基底的另一侧，然后将该玻璃基底干燥；5）在光伏玻璃基底的一侧溅射沉积形成ZnO基透明导电薄膜；其中，在步骤1）和步骤2）中，颗粒源指的是硅氧化物或金属氧化物的前驱体，大颗粒与小颗粒的粒径差为250~350nm。本发明的双结构绒面ZnO基透明导电薄膜制备方法，无需经过湿法刻蚀即可在光伏玻璃基底的一侧获得双结构绒面ZnO基透明导电薄膜，同时，在光伏玻璃基底的另一侧得到减反射薄膜，操作简单，适合工业化大规模应用。

主权项

一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤： 1）将1份体积的颗粒源、1.5~3.5份体积的催化剂、2~3份体积的去离子水、10~20份体积的有机溶剂，在室温下搅拌8~10小时，再加入1份体积的颗粒源及0.1~0.2份体积的去离子水，搅拌8~10小时，获得含有大颗粒的溶液A；2）将1份体积的颗粒源、0.5~2份体积的催化剂、1.5~3.5份体积的去离子水、10~20份体积的有机溶剂，在室温下搅拌3~8小时，获得含有小颗粒的溶液B；3）将溶液A和溶液B以1:（0.25~2）的体积比混合，继续搅拌3~6小时，获得含有不同粒径颗粒的混合溶液C； 4）采用涂覆技术将混合溶液C涂覆在光伏玻璃基底的一侧，之后将溶液B涂覆在光伏玻璃基底的另一侧，然后将该玻璃基底在100~400℃温度下干燥10~60分钟；5）采用直流磁控溅射法在涂覆有混合溶液C并干燥的光伏玻璃基底的一侧溅射沉积形成一定厚度的ZnO基透明导电薄膜，其中，光伏玻璃基底的温度为25~300℃，磁控溅射的靶材为ZnO或ZnO基陶瓷，磁控溅射的溅射腔真空度小于1×10‑3Pa，溅射气压为0.2~1.5Pa； 在步骤1）和步骤2）中，所述的颗粒源指的是硅氧化物或金属氧化物的前驱体；所述的大颗粒与所述的小颗粒的粒径差为250~350nm。