[发明专利]一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤： 

1）将1份体积的颗粒源、1.5~3.5份体积的催化剂、2~3份体积的去离子水、10~20份体积的有机溶剂，在室温下搅拌8~10小时，再加入1份体积的颗粒源及0.1~0.2份体积的去离子水，搅拌8~10小时，获得含有大颗粒的溶液A；

2）将1份体积的颗粒源、0.5~2份体积的催化剂、1.5~3.5份体积的去离子水、10~20份体积的有机溶剂，在室温下搅拌3~8小时，获得含有小颗粒的溶液B；

3）将溶液A和溶液B以1:（0.25~2）的体积比混合，继续搅拌3~6小时，获得含有不同粒径颗粒的混合溶液C； 

4）采用涂覆技术将混合溶液C涂覆在光伏玻璃基底的一侧，之后将溶液B涂覆在光伏玻璃基底的另一侧，然后将该玻璃基底在100~400℃温度下干燥10~60分钟；

5）采用直流磁控溅射法在涂覆有混合溶液C并干燥的光伏玻璃基底的一侧溅射沉积形成一定厚度的ZnO基透明导电薄膜，其中，光伏玻璃基底的温度为25~300℃，磁控溅射的靶材为ZnO或ZnO基陶瓷，磁控溅射的溅射腔真空度小于1×10^-3Pa，溅射气压为0.2~1.5Pa； 

在步骤1）和步骤2）中，所述的颗粒源指的是硅氧化物或金属氧化物的前驱体；

所述的大颗粒与所述的小颗粒的粒径差为250~350nm。

2.根据权利要求1所述的一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述的颗粒源为正硅酸甲酯、正硅酸四乙酯、钛酸正丁酯、醋酸锌、硝酸锌、四氯化钛、氯氧化锆中的一种或几种。

3.根据权利要求1所述的一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：在步骤1）中，所述的大颗粒为SiO2、TiO2、ZnO、ZrO2中的一种或几种。

4.根据权利要求1所述的一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：在步骤2）中，所述的小颗粒为SiO2、TiO2、ZnO、ZrO2中的一种或几种。

5.根据权利要求1所述的一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：在步骤1）和步骤2）中，所述的催化剂为氨水、尿素、氢氧化钠中的一种。

6.根据权利要求1所述的一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：在步骤1）和步骤2）中，所述的有机溶剂为乙醇、异丙醇、乙二醇、乙醇胺、二乙醇胺等中的一种或几种。

7.根据权利要求1所述的一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：在步骤4）中，所述的涂覆技术为提拉法、旋涂、喷涂、辊涂、丝网印刷技术中的一种。

8.根据权利要求1所述的一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：在步骤5）中，所述的ZnO基透明导电薄膜的厚度为500~1000 nm。

9.根据权利要求1所述的一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：在步骤5）中，所述的ZnO基陶瓷中ZnO的重量百分比含量a为97%≤a﹤100%。