[发明专利]一种多通道集成滤光片的制作方法有效
申请号: | 201210314467.4 | 申请日: | 2012-08-30 |
公开(公告)号: | CN102819058A | 公开(公告)日: | 2012-12-12 |
发明(设计)人: | 金建;邸思;姚豫培;陈贤帅;杜如虚 | 申请(专利权)人: | 广州中国科学院先进技术研究所 |
主分类号: | G02B5/20 | 分类号: | G02B5/20;G02B1/10 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 谭英强 |
地址: | 511458 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种多通道集成滤光片的制作方法,该方法包括以下步骤:A.在基底上制作一保护区域;B.布置好所述保护区域的膜层结构;C.在所述保护区域上镀制一种功能的滤光薄膜;D.重复步骤A~C,在基底上镀制其它功能的滤光薄膜。本发明将不同膜系的滤光膜层集成到一个基底上,大大提高了滤光片的集成度。另外,在布置膜层结构前可以根据实际需求来设计不同的膜系,因此能进一步扩展滤光片的工作范围。本发明广泛应用于薄膜及工程光学领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 通道 集成 滤光 制作方法 | ||
【主权项】:
一种多通道集成滤光片的制作方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:A.在基底(1)上制作一保护区域(5);B.布置好所述保护区域(5)的膜层结构;C.在所述保护区域(5)上镀制一种功能的滤光薄膜;D.重复步骤A~C,在基底(1)上镀制其它功能的滤光薄膜。
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