[发明专利]基板处理设备及基板传送方法

摘要

本发明提供一种基板处理设备及基板传送方法，该基板处理设备包括：装载/卸载单元；处理单元，在该处理单元中执行基板处理工艺；加载锁定单元，其布置在装载/卸载单元与处理单元之间；以及搬运构件，其在处理单元与加载锁定单元之间传送基板。装载/卸载单元包括：卡匣，在卡匣上布置有彼此竖向间隔的多片基板；与卡匣隔开的基板搬运台，该基板搬运台搬运所述基板；以及将基板从卡匣搬运至基板搬运台中的搬运机器人。搬运机器人包括：其上放置基板的手状部；以及以向上/向下方向或向前/向后方向移动手状部的驱动器。手状部在其长度方向上具有足够放置两片或更多片基板的长度，并且装载/卸载单元、加载锁定单元、以及处理单元相继布置。

主权项

一种基板处理设备，包括：装载/卸载单元；处理单元，在所述处理单元中执行基板处理工艺；加载锁定单元，其布置在所述装载/卸载单元与所述处理单元之间；以及搬运构件，其在所述处理单元与所述加载锁定单元之间传送基板，其中，所述装载/卸载单元包括：卡匣，在所述卡匣上布置彼此竖向间隔的多片基板；与所述卡匣隔开的基板搬运台，所述基板搬运台搬运所述基板；以及将所述基板从所述卡匣搬运至所述基板搬运台中的搬运机器人，其中，所述搬运机器人包括：其上放置所述基板的手状部；以及以向上/向下方向或向前/向后方向移动所述手状部的驱动器，其中，所述手状部在其长度方向上具有足够放置两片或更多片基板的长度，并且所述装载/卸载单元、所述加载锁定单元、以及所述处理单元相继布置。