[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物及利用该组合物的抗蚀剂剥离方法

摘要

本发明涉及一种抗蚀剂剥离液组合物及利用该组合物的抗蚀剂剥离方法，更具体地涉及下述抗蚀剂剥离液组合物及利用该组合物的抗蚀剂剥离方法，所述抗蚀剂剥离液组合物通过包含(a)多面体倍半硅氧烷及(b)碱性化合物，抗蚀剂图案及干式及湿式蚀刻残渣去除力优异，对含有铝和/或铜的金属配线的配线防蚀性能及对剥离液的剥离性能优异，容易观察剥离液的色变，因此可以有效地适用于为了实现高分辨率而适用了微细图案的平板显示装置的制造工艺及使用了铜配线的平板显示装置的制造工艺中。

主权项

1.一种抗蚀剂剥离液组合物，包含由下述化学式1表示的多面体倍半硅氧烷(Silsesquioxane)及由下述化学式2表示的碱性化合物，[化学式1](R¹SiO_1.5)_n[化学式2]所述化学式1中，n是8～100，R¹各自独立地是氢、烷基、亚烷基、烯丙基、亚烯丙基，或具有官能团的烷基、亚烷基、烯丙基及亚烯丙基的衍生物；所述化学式2中，R²，R³及R⁴各自独立地是被氢或氨基取代或未取代的具有1～10的碳原子数的烷基，由被碳原子数为1～4的烷基取代的氨基取代的具有1～10的碳原子数的烷基，碳原子数为2～10的烯基，由被碳原子数为1～10的羟烷基、羧基或羟基取代或未取代的具有1～10的碳原子数的烷氧基取代的具有1～10的碳原子数的烷基，被碳原子数为1～4的烷基取代或未取代的氨基、苯基或苄基，且所述R³和R⁴一起形成环。