[发明专利]一种薄膜电阻温度计的制作方法有效
| 申请号： | 201210243759.3 | 申请日： | 2012-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN102749148A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 陈星;宫建;师军;林键 | 申请（专利权）人： | 中国航天空气动力技术研究院 |
| 主分类号： | G01K7/16 | 分类号： | G01K7/16;G01K13/00;C23C14/04;C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 安丽 |
| 地址： | 100074 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种薄膜电阻温度计的制作方法，所述薄膜电阻温度计用于测量尖前缘驻点热流，(1)清洗玻璃基底，所述玻璃基底包括一个尖前缘；(2)在玻璃基底的尖前缘沿其长度方向镀铂薄膜；(3)对铂薄膜进行热处理，使铂薄膜老化；(4)在玻璃基底上刷涂银浆，对银浆进行烘干和烧结；(5)在所述尖前缘沿其周向镀伽马合金薄膜，后在伽马合金薄膜上镀银薄膜，通过银薄膜将铂薄膜两端与银浆连接起来。采用本发明的方法能够实现在尖前缘尖部镀膜，并能够使得薄膜更加牢固和耐冲刷，从而能够精确测量尖前缘驻点热流。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 电阻 温度计 制作方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜电阻温度计的制作方法，所述薄膜电阻温度计用于测量尖前缘驻点热流，其特征在于，包括下列步骤：(1)清洗玻璃基底，所述玻璃基底包括一个尖前缘；(2)在玻璃基底的尖前缘沿其长度方向镀铂薄膜；(3)对铂薄膜进行热处理，使铂薄膜老化；(4)在玻璃基底上刷涂银浆，对银浆进行烘干和烧结；(5)在所述尖前缘沿其周向镀伽马合金薄膜，后在伽马合金薄膜上镀银薄膜，通过银薄膜将铂薄膜两端与银浆连接起来。
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