[发明专利]化学机械研磨垫的双重修整系统及相关方法无效
| 申请号： | 201210241151.7 | 申请日： | 2012-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN102873639A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 宋健民 | 申请（专利权）人： | 宋健民 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种修整化学机械研磨垫的双重修整系统及相关方法，在本发明的一种具体实施方式中，该修整化学机械研磨垫的方法包括：将一去釉化修整器(deglazing dresser)作用于一化学机械研磨垫的一工作表面，以利用该去釉化修整器能够对该化学机械研磨垫的该工作表面进行去釉化；将一粗糙成形修整器(asperity-frming dresser)作用于该化学机械研磨垫的该工作表面，以利用该粗糙成形修整器能够对该化学机械研磨垫的该工作表面进行粗糙化。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 双重 修整 系统 相关 方法 | ||
【主权项】：
一种修整化学机械研磨垫的方法，包括：将一去釉化修整器作用于一化学机械研磨垫的一工作表面，以利用该去釉化修整器对该化学机械研磨垫的该工作表面进行去釉化；将一粗糙成形修整器作用于该化学机械研磨垫的该工作表面，以利用该粗糙成形修整器对该化学机械研磨垫的该工作表面进行粗糙化。
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