[发明专利]用于基底表面处理的纳米复合涂层及其制备方法和装置有效
| 申请号： | 201210240424.6 | 申请日： | 2012-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN102776474A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 王守仁;张海平;田希杰;王英姿;乔阳;宋令惠;王敏 | 申请（专利权）人： | 济南大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 崔同磊 |
| 地址： | 250022 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于基底表面处理的纳米复合涂层，所述用于基底表面处理的纳米复合涂层包括附着在基底表面上的Ti过渡层和纳米复合涂层，所述纳米复合涂层由TiN涂层、TiAlN涂层、CrTiAlN涂层交替排列组成，所述Ti过渡层设置在里层，纳米复合涂层设置在表层。其制备装置是在现有磁控溅射设备基础上改进的，其制备方法采用磁控溅射法完成，该一种用于基底表面处理的纳米复合涂层和现有技术相比，硬度高、氧化温度高、热硬性好、附着力强、摩擦系数小和导热率低，适用范围广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 基底 表面 处理 纳米 复合 涂层 及其 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于基底表面处理的纳米复合涂层，其特征在于：所述用于基底表面处理的纳米复合涂层包括附着在基底表面上的Ti过渡层和纳米复合涂层，所述纳米复合涂层由TiN、TiAlN、CrTiAlN纳米涂层交替排列组成，所述Ti过渡层设置在里层，纳米复合涂层设置在表层。
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