[发明专利]用于粒子束设备的高电压源装置无效
| 申请号： | 201210204678.2 | 申请日： | 2012-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN102832093A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | J.福伯;M.休杰尔曼 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/248 | 分类号： | H01J37/248 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于粒子束设备的高电压源装置。本发明涉及用于粒子束设备（11、12）的高电压源装置（100）和包含该类型的高电压源装置（100）的粒子束设备（11、12）。高电压源装置（100）具有用于输送高电压的至少一个高压电缆（101），并包括用于测量高电压的至少一个测量装置（105），其中测量装置（105）具有至少一个第一电容器（108），并且其中第一电容器由高压电缆（101）的至少一个第一部分（108）形成。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 粒子束 设备 电压 装置 | ||
【主权项】：
用于粒子束设备（11、12）的高电压源装置（100），包括：用于输送高电压的至少一条高压电缆（101），并且包括用于测量高电压的至少一个测量装置（105），其中所述测量装置（105）具有至少一个第一电容器（108、132），其中所述第一电容器由所述高压电缆（101）的至少一个第一部分（108）形成。
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