[发明专利]吹扫装置、装载部

摘要

本发明提供吹扫装置、装载部。能进行规定的气体气氛的极限浓度较高的吹扫处理，并能根据吹扫对象容器所附属的接口件的种类、形状等简单并且顺畅地进行更换成顶端部的种类、形状不同的吹扫喷嘴的作业、维护作业。吹扫装置（P）包括底面侧吹扫单元（2），安装在能载置吹扫对象容器（1）的载置台（B）上；底面侧吹扫喷嘴主体（3），在上端部具有能与接口件（1a）相接触的接口件接触部（32），在下端部具有能与形成在底面侧吹扫单元上的安装部（42）相配合的被安装部（33），通过使被安装部以能装卸的方式配合于安装部，能将底面侧吹扫喷嘴主体安装到底面侧吹扫单元上；在被安装部配合于安装部的状态下，接口件接触部定位在规定位置并且呈大致水平。

主权项

一种吹扫装置，其特征在于，该吹扫装置能够经由设置在吹扫对象容器的底面上的接口件将该吹扫对象容器内的气体气氛置换成氮或干燥空气，该吹扫装置包括：底面侧吹扫单元，其安装在能够载置上述吹扫对象容器的载置台上；以及底面侧吹扫喷嘴主体，其在上端部具有能够与上述接口件相接触的接口件接触部，并且在下端部具有能够与形成在上述底面侧吹扫单元上的安装部相配合的被安装部，通过使上述被安装部以能够装卸的方式与上述安装部配合，能够将上述底面侧吹扫喷嘴主体安装到上述底面侧吹扫单元上；在使上述被安装部与上述安装部配合的状态下，上述接口件接触部定位在规定位置，由上述底面侧吹扫单元及上述底面侧吹扫喷嘴主体构成吹扫喷嘴，该吹扫装置还包括升降机构，该升降机构使上述吹扫喷嘴在上述接口件接触部能够与上述接口件相接触的吹扫位置与上述接口件接触部不会与上述接口件相接触的待机位置之间移动，处于上述吹扫位置的上述接口件接触部相对于由SEMI标准所规定的FOUP的水平基准面大致水平。