[发明专利]一种预对准装置及预对准方法有效
| 申请号： | 201210118779.8 | 申请日： | 2012-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN103376673A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 郭鹏;王邵玉;马喜宝 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种预对准装置及预对准方法，用于实现不同尺寸基底的定心和定向。所述预对准装置包括：吸盘，用于承载和固定基底，并可带动基底旋转；一对卡盘，具有与基底相匹配的尺寸，通过所述一对卡盘夹紧基底并使一对卡盘的中心与吸盘的中心重合实现基底的定心；光电检测装置，其位置可调整以使基底边缘位于光电检测装置的视场范围内，通过光电检测装置检测基底上缺口或平边的位置并将缺口或平边转动至指定位置实现基底的定向。所述预对准装置同时采用机械夹持及光电检测两种方式对基底进行定位，通过机械夹持基底以对基底进行定心，使用光电检测识别基底的缺口或平边以对基底进行定向。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对准 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种预对准装置，用于实现不同尺寸基底的定心和定向，所述基底具有缺口或平边，其特征在于，所述预对准装置包括：吸盘，用于承载和固定所述基底，并能带动基底旋转；一对卡盘，具有与基底相匹配的尺寸，对称设置于吸盘的两侧，且与基底的高度位置相对应，通过所述一对卡盘夹紧基底并使一对卡盘的中心与吸盘的中心重合实现基底的定心；光电检测装置，位于吸盘的上方，且所述光电检测装置的位置可调整以使基底边缘位于光电检测装置的视场范围内，通过光电检测装置检测基底上缺口或平边的位置并将缺口或平边转动至指定位置实现基底的定向。
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