[发明专利]一种多弧离子镀超晶格纳米复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201210090578.1 | 申请日： | 2012-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN102605324A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 张世宏;蔡飞;方炜;李伟 | 申请（专利权）人： | 马鞍山多晶金属材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32 |
| 代理公司： | 安徽汇朴律师事务所 34116 | 代理人： | 胡敏 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多弧离子镀超晶格纳米复合涂层及其制备方法，本发明涂层的立方结构的TiN层和六方结构的AlSiN层交替沉积在纳米过渡层上，所述纳米过渡层是Ti/TiN的复合物层，所述六方结构的AlSiN层的界面上设有立方结构的AlSiN层。制备方法中：将抛光、清洗后的工件夹持在夹具上，夹具设置在转台上，转台位于真空室中；往真空室内通入Ar气，加负偏压对工件表面进行Ar离子轰击清洗，去除工件表面残余物后，降低负偏压；启动第一中频电弧源，沉积生成Ti层，然后通入N2气体，沉积生成TiN层；启动第二中频电弧源，通入N2气体，交替沉积生成立方结构的TiN层和六方结构的AlSiN层，真空室冷却到室温即可。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子镀 晶格 纳米 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多弧离子镀超晶格纳米复合涂层，其特征在于，包括纳米过渡层、立方结构的TiN层和六方结构的AlSiN层，所述立方结构的TiN层和六方结构的AlSiN层交替沉积在纳米过渡层上，所述纳米过渡层是Ti/TiN的复合物层，所述六方结构的AlSiN层的界面上设有立方结构的AlSiN层。
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