[发明专利]真空感应化学气相沉积炉测温热电偶的转接器

摘要

一种真空感应化学气相沉积炉测温热电偶的转接器，包括导通螺杆和绝缘板；两个导通螺杆分别插入绝缘板上的两个螺栓安装孔内，并用螺母固定；绝缘板密封圈装入位于转接器绝缘板上的密封槽内。使用时，将转接器用连接螺栓固定在炉体侧壁开孔的连接法兰上，并将热电偶补偿导线与温度显示和控制仪表连接。通过本发明，将热电偶的信号传递给仪表。热电偶的保护管的长度从炉体工作区的保温上盖板到工作区的温度监测点，避免了原来热电偶保护管损坏导致炉体真空状态的破坏现象出现，并通过转接器保持炉体真空，由于转接器不受工作区温度影响，炉体真空保持功能可靠，所以采用转接器提高了设备运行的安全性。

主权项

一种真空感应化学气相沉积炉测温热电偶的转接器，其特征在于：a.包括导通螺杆和绝缘板；两个导通螺杆分别插入绝缘板上的两个螺栓安装孔内，并用螺母固定；绝缘板密封圈装入位于转接器绝缘板上的密封槽内；b.导通螺杆有2个；该导通螺杆小直径端的外径与绝缘板中心的螺栓安装孔的孔径相同；在所述导通螺杆的两端的端面均有螺钉的安装孔，在所述导通螺杆的两端的圆周上有贯通的热电偶丝孔；所述螺钉的安装孔分别沿导通螺杆的轴线向导通螺杆内延伸，并与热电偶丝孔贯通；所述螺钉安装孔与热电偶丝孔的中心线相互垂直。