[发明专利]蒸镀用舟皿和使用该蒸镀用舟皿的成膜方法有效
| 申请号： | 201210073590.1 | 申请日： | 2012-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN102677000A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 竹泽昌宏;山本昌裕;上口洋辉;大岛章义 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 刘佳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种蒸镀用舟皿和使用该蒸镀用舟皿的成膜方法。一种蒸镀用舟皿，其能消除材料线材在空中熔解而产生的飞沫，并且材料蒸发区域不会缩小。以使池(2)一端(3a)的材料供给部(9a)的温度比与该材料供给部(9a)另一端(3b)一侧连接的材料蒸发部(10)的温度低的方式，在池(2)的材料蒸发部(10)背面设有截面积相等的平坦部(14)和将平坦部(14)与材料供给部(9a)连接的倾斜部(15a)，并将倾斜部(15a)形成为截面积在从一端(3a)到另一端(3b)的方向上变大，由此形成温度分布。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀用 舟皿 使用 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸镀用舟皿，在舟皿主体形成有池，其中，所述池具有使供给来的薄膜材料熔融的材料供给部和供熔融后的薄膜材料从所述材料供给部流入的材料蒸发部，通过对所述舟皿主体的一端与另一端之间通电来将所述材料蒸发部的薄膜材料加热至其蒸发温度以上，其特征在于，在所述池的所述材料供给部的背面或是侧面形成截面积比所述材料蒸发部的截面积大的突起部。
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