[发明专利]蒸镀用舟皿和使用该蒸镀用舟皿的成膜方法

权利要求书

1.一种蒸镀用舟皿，在舟皿主体形成有池，其中，所述池具有使供给来的薄膜材料熔融的材料供给部和供熔融后的薄膜材料从所述材料供给部流入的材料蒸发部，通过对所述舟皿主体的一端与另一端之间通电来将所述材料蒸发部的薄膜材料加热至其蒸发温度以上，其特征在于，

在所述池的所述材料供给部的背面或是侧面形成截面积比所述材料蒸发部的截面积大的突起部。

2.如权利要求1所述的蒸镀用舟皿，其特征在于，将所述突起部的形状成型成越靠近所述材料蒸发部截面积越是变小。

3.如权利要求1所述的蒸镀用舟皿，其特征在于，在所述材料蒸发部的背面或侧面设有平坦部和倾斜部，其中，所述平坦部的截面积在将所述一端与所述另一端连接的长边方向上相等，所述倾斜部将所述平坦部与所述材料供给部连接，所述倾斜部的截面积在从所述一端朝向所述另一端的方向上变大。

4.如权利要求3所述的蒸镀用舟皿，其特征在于，在与将所述一端与所述另一端连接的长边方向垂直的面上的截面积按所述材料供给部、所述材料蒸发部、所述倾斜部的顺序变小。

5.如权利要求4所述的蒸镀用舟皿，其特征在于，所述倾斜部的截面积在材料供给部一侧最小，随着靠近材料蒸发部变大，在与材料蒸发部连接的部位处与材料蒸发部的截面积相同。

6.如权利要求4所述的蒸镀用舟皿，其特征在于，所述材料供给部的截面积与所述倾斜部的最小截面积之比为8.0以上。

7.如权利要求4所述的蒸镀用舟皿，其特征在于，在所述倾斜部的最小部分处，所述倾斜部的截面积与所述材料蒸发部的截面积之比为0.45以上0.55以下。

8.如权利要求4所述的蒸镀用舟皿，其特征在于，所述倾斜部的所述长边方向上的长度与所述材料蒸发部的所述长边方向上的长度之比为0.20以上0.30以下。

9.如权利要求3至8中任一项所述的蒸镀用舟皿，其特征在于，

在形成有所述材料蒸发部的上表面上，设有夹着所述材料蒸发部且在所述另一端与所述材料蒸发部连接的第二材料供给部，

不是在形成有所述材料蒸发部的上表面，而是在背面或是侧面的靠所述另一端附近形成截面积比所述平坦部的截面积大的突起部，

设置将所述平坦部与所述第二材料供给部连接的第二倾斜部，并将所述第二倾斜部形成为截面积在朝所述另一端的方向上变大。

10.一种成膜方法，将薄膜材料供给至权利要求1至9中任一项所述的蒸镀用舟皿的材料供给部以使所述薄膜材料熔融，将熔融后的所述薄膜材料引导至材料蒸发部，并使所述薄膜材料在所述材料蒸发部处蒸发，从而将所述薄膜材料的薄膜蒸镀到被对象物。