[发明专利]薄膜电阻结构有效
| 申请号： | 201210072622.6 | 申请日： | 2012-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN103325844B | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 魏铭德;曹博昭;蔡振华;陈建仰;梁家瑞;陈铭聪 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/8605 | 分类号： | H01L29/8605;H01C7/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种薄膜电阻结构，其包含有一基底，一覆盖于该基底之上平坦的底层间介电层，多个第一接触，位于该底层间介电层之中，且各该第一接触的一顶面切齐该底层间介电层的一顶面，一平坦的顶层间介电层，位于该底层间介电层之上，多个第二接触，位于该顶层间介电层之中，且各该第二接触的一顶面切齐该顶层间介电层的一顶面，以及一薄膜电阻，位于该底层间介电层与该顶层间介电层之间。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 电阻 结构 | ||
【主权项】：
一种薄膜电阻结构，包含有:基底；平坦的底层间介电层，覆盖于该基底之上；多个第一接触，位于该底层间介电层之中，且各该第一接触的一顶面切齐该底层间介电层的一顶面；第二停止层，位于该底层间介电层之上且与该底层间介电层直接接触；平坦的顶层间介电层，位于该第二停止层之上；多个第二接触，位于该顶层间介电层之中，且各该第二接触的一顶面切齐该顶层间介电层的一顶面；以及薄膜电阻，位于该第二停止层与该顶层间介电层之间，其中至少一该第二接触穿透该薄膜电阻及该第二停止层，且切齐于该第二停止层的底面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于联华电子股份有限公司，未经联华电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210072622.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种发动机主轴轴承保持架
- 下一篇：煤矿水文监测系统
- 同类专利
- 专利分类
