[发明专利]掺杂氧化锌透明薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201210067354.9 | 申请日： | 2012-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN103305792A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 谈一波;吴雪飞;黄琦凯 | 申请（专利权）人： | 江苏新源动力有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 赵淑梅 |
| 地址： | 214203 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种氧化锌基掺杂元素透明导电薄膜，包括玻璃衬底层和表面具有微孔结构的氧化锌基掺杂元素膜层。是将掺杂元素和氧化锌混合、烘干、研磨，得前驱掺杂粉体，经混合、烧结制成掺杂元素氧化锌基靶材，再以玻璃为衬底层，采用磁控溅射法，真空抽气至0.6-3.0×10-4Pa，溅射气体为氩气、氧气、氢气、惰性气体或它们的混合气体；温度为室温至500℃，工作压力为0.06-3.0Pa，直流溅射功率为10-120W，沉积时间为3-60min；基材衬底距离为5-40nm，膜厚为100-2000nm。 | ||
| 搜索关键词： | 掺杂 氧化锌 透明 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化锌基掺杂元素透明导电薄膜，其特征在于包括玻璃衬底层和表面具有微孔结构的氧化锌基掺杂元素膜层；所述掺杂元素为单质元素、氧化物、氢氧化物。
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