[发明专利]具有透明衬底和穿衬底通孔的光传感器有效
申请号: | 201210025794.8 | 申请日: | 2012-01-19 |
公开(公告)号: | CN102623469A | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
发明(设计)人: | 尼科尔·D·谢内斯;阿尔卡迪·V·萨莫伊洛夫;王至海;乔伊·T·琼斯 | 申请(专利权)人: | 美士美积体产品公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 孟锐 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明描述将形成于玻璃衬底上的IR抑制滤光片提供给光传感器的技术。在一个或一个以上实施例中,光传感器包含具有表面的衬底。一个或一个以上光电检测器形成于所述衬底中,且经配置以检测光且响应于所述光而提供信号。在玻璃衬底上形成经配置以阻挡红外光使其无法到达所述表面的IR抑制滤光片。所述光传感器还包含安置于所述表面上方的多个色通滤光片。所述色通滤光片经配置以过滤可见光以使在有限波长谱内的光通过到所述一个或一个以上光电检测器。将缓冲层安置在所述表面上方,且经配置以包封所述多个色通滤光片和粘合层。所述光传感器进一步包含穿硅通孔,以提供不同导电层之间的电互连。 | ||
搜索关键词: | 具有 透明 衬底 传感器 | ||
【主权项】:
一种光传感器,其包括:衬底,其具有表面;一个或一个以上光电检测器,其形成于所述衬底中,所述一个或一个以上光电检测器经配置以检测光且响应于所述光而提供信号;IR抑制滤光片,其定位在所述表面上方,且经配置以过滤红外光,以至少大体上阻挡红外光,使其无法到达所述一个或一个以上光电检测器;缓冲层,其形成于所述衬底的所述表面上方,以向一个或一个以上色通滤光片提供绝缘;透明衬底,其定位于所述IR抑制滤光片上方;以及穿衬底通孔,其形成于所述衬底中,且经配置以提供与所述一个或一个以上光电检测器的电互连。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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