[发明专利]功能设备的制造方法、铁电体材料层的制造方法、场效应晶体管的制造方法和薄膜晶体管、场效应晶体管以及压电式喷墨头有效
| 申请号： | 201180021920.6 | 申请日： | 2011-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN102870245A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 下田达也;德光永辅;宫迫毅明;金田敏彦 | 申请（专利权）人： | 独立行政法人科学技术振兴机构 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H01L41/22;B41J2/16;C23C18/12;H01L27/12;H01L29/786;H01L45/00 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 洪玉姬;杨勇 |
| 地址： | 日本埼玉*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明之一的功能设备的制造方法依次包括：功能固体材料前驱体层形成工序，通过在基材上涂布功能液体材料来形成功能固体材料的前驱体层；干燥工序，将前驱体层加热至80℃-250℃范围内的第一温度，以事先降低前驱体层的流动性；模压工序，在将前驱体层加热至80℃-300℃范围内的第二温度的状态下，对前驱体层施行模压加工，从而在前驱体层形成模压结构；功能固体材料层形成工序，将前驱体层以高于第二温度的第三温度进行热处理，由此从前驱体层形成功能固体材料层。 | ||
| 搜索关键词： | 功能 设备 制造 方法 铁电体 材料 场效应 晶体管 薄膜晶体管 以及 压电 喷墨 | ||
【主权项】：
一种功能设备的制造方法，其特征在于，包括：功能固体材料前驱体层形成工序，通过在基材上涂布功能液体材料来形成功能固体材料的前驱体层；干燥工序，将所述前驱体层以80℃‑250℃范围内的第一温度加热；模压工序，在将所述前驱体层加热至80℃‑300℃范围内的第二温度的状态下，对所述前驱体层施行模压加工，由此在所述前驱体层形成模压结构；功能固体材料层形成工序，将所述前驱体层以高于所述第二温度的第三温度进行热处理，由此从所述前驱体层形成所述功能固体材料层。
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