[发明专利]靶材及其形成方法无效
| 申请号： | 201110451876.4 | 申请日： | 2011-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102560382A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 潘杰;姚力军;王学泽;郑文翔 | 申请（专利权）人： | 余姚康富特电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材及其形成方法，背板；靶材坯料，位于背板上；密封槽，位于背板上，所述密封槽围绕所述靶材坯料；非溅射区，位于靶材坯料侧面及从靶材坯料外侧至密封槽的背板表面；所述非溅射区具有花纹图案。本发明通过对靶材的所述非溅射区表面进行喷丸和图案化处理，增加其粗糙度，从而增加了反溅射物质在靶材上的粘附力，大大的减少了反溅射物质剥落的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材，包括背板；靶材坯料，位于背板上；密封槽，位于背板上，所述密封槽围绕所述靶材坯料；非溅射区，位于靶材坯料侧面及从靶材坯料外侧至密封槽的背板表面；其特征在于，所述非溅射区具有花纹图案。
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