[发明专利]一种靶材表面形态的设计方法无效
| 申请号： | 201110441785.2 | 申请日： | 2011-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN102443771A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 朱振华;庄世雄 | 申请（专利权）人： | 昆山全亚冠环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种靶材表面形态的设计方法，包括如下步骤：A、首先量测在相应溅射机台使用残靶的冲击曲线；B、根据步骤A中的冲击曲线数据模拟该冲击曲线的函数；C、在溅射区依照该函数设计溅射跑道区增厚的形态图纸；D、根据步骤C中靶材的形态图纸对靶材进行加工。采用该方法设计的靶材可有效提高靶材的寿命和溅射率，在保证靶材寿命的前提下，降低了靶材的制造成本，从而更加利用实用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 形态 设计 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材表面形态的设计方法，其特征在于，包括如下步骤：A、首先量测在相应溅射机台使用残靶的冲击曲线；B、根据步骤A中的冲击曲线数据模拟该冲击曲线的函数；C、在溅射区依照该函数设计溅射跑道区增厚的形态图纸；D、根据步骤C中靶材的形态图纸对靶材进行加工。
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