[发明专利]一种靶材表面形态的设计方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种靶材的设计工艺，特别是涉及一种靶材表面形态的设计方法。

背景技术

在平面磁控溅射过程中,由于正交电磁场对溅射离子的作用关系,溅射靶在溅射过程中将产生不均匀冲蚀( Erosion) 现象,从而造成溅射靶材的利用率普遍低下,只有30 %以下。溅射率低导致换靶频繁，使设计的效率难以提升。要使设备的效率得到提升最根本的是要提升靶材的寿命，为提高靶材的寿命已有许多设计在改变靶材表面的形态。但已有的设计都是单纯的加厚靶材，或者是在溅射跑道区加厚靶材，都沒有考虑到机台的冲蚀曲线。

由此可见，上述现有的靶材设计工艺在使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决靶材设计工艺存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般工艺又未能解决上述问题，因此显然是相关业者急欲解决的问题。

有鉴于上述现有的靶材设计工艺存在的缺陷，本发明人基于从事此类工艺设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型的靶材表面形态的设计方法，能够改进一般现有的靶材设计工艺，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试验及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容

本发明的主要目的在于，克服现有的靶材设计工艺存在的缺陷，而提供一种新型的靶材表面形态的设计方法，所要解决的技术问题是使其有效提高靶材的寿命，降低了靶材制造成本，从而更加适于实用，且具有产业上的利用价值。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种靶材表面形态的设计方法，包括如下步骤：

A、首先量测在相应溅射机台使用残靶的冲击曲线；

B、根据步骤A中的冲击曲线数据模拟该冲击曲线的函数；

C、在溅射区依照该函数设计溅射跑道区增厚的形态图纸；

D、根据步骤C中靶材的形态图纸对靶材进行加工。

借由上述技术方案，本发明靶材表面形态的设计方法至少具有下列优点：

采用该方法设计的靶材可有效提高靶材的寿命和溅射率，在保证靶材寿命的前提下，降低了靶材的制造成本，从而更加利用实用。

综上所述，本发明特殊的靶材表面形态的设计方法，其具有上述诸多的优点及实用价值，并在同类工艺中未见有类似的设计公开发表或使用而确属创新，其不论在操作上皆有较大的改进，在技术上有较大的进步，并产生了好用及实用的效果，且较现有的靶材设计工艺具有增进的多项功效，从而更加适于实用，而具有产业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、实用的新设计。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

本发明的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。

附图说明

图1为本发明中残靶表面形态模拟示意图；

图2为本发明中残靶蚀刻曲线模拟示意图；

图3为本发明中残靶的截面曲线示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的靶材表面形态的设计方法其具体实施方式、特征及其功效，详细说明如后。

请参阅图1、图2、图3所示，本发明较佳实施例的一种靶材表面形态的设计方法，包括如下步骤：

A、首先量测在相应溅射机台使用残靶的冲击曲线；

B、根据步骤A中的冲击曲线数据模拟该冲击曲线的函数；

C、在溅射区依照该函数设计溅射跑道区增厚的形态图纸；

D、根据步骤C中靶材的形态图纸对靶材进行加工。

采用该方法设计的靶材可有效提高靶材的寿命和溅射率，在保证靶材寿命的前提下，降低了靶材的制造成本，从而更加利用实用。

上述的本发明靶材表面形态的设计方法的技术创新，对于现今同行业的技术人员来说均具有许多可取之处，而确实具有技术进步性。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明,任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。