[发明专利]下电极机构和具有其的等离子体处理设备有效
| 申请号： | 201110427322.0 | 申请日： | 2011-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN103165369A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 郑友山 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于等离子体处理设备的下电极机构，包括：载板、下电极底板和至少一个承载单元，其中：所述承载单元设置在所述载板和下电极底板之间，通过所述承载单元使载板和下电极底板均匀接触，所述承载单元包括：三个接地柱支撑杆；多个接地柱；两个汽缸驱动器，汽缸驱动器设置在位于两边的接地柱支撑杆的下方且汽缸驱动器的活塞杆连接至位于两边的接地柱支撑杆，其中位于两边的接地柱设置成相对于所述汽缸驱动器的活塞杆位于外侧。本发明还公开了一种具有上述下电极机构的等离子体处理设备。本发明提供的下电极机构接地性能良好，进而减少打火和放电，提高了下电极机构的设备稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 机构 具有 等离子体 处理 设备 | ||
【主权项】：
一种用于等离子体处理设备的下电极机构，其特征在于，包括：载板、下电极底板和至少一个承载单元，其中：所述承载单元设置在所述载板和下电极底板之间，通过所述承载单元使载板和下电极底板均匀接触，所述承载单元包括：三个接地柱支撑杆，所述接地柱支撑杆设置在所述下电极底板的上方且依次铰接；多个接地柱，所述接地柱分别设置在所述接地柱支撑杆上，用于水平地支撑所述载板；以及两个汽缸驱动器，所述汽缸驱动器设置在位于两边的接地柱支撑杆的下方且所述汽缸驱动器的活塞杆连接至位于两边的接地柱支撑杆，以驱动所述接地柱支撑杆沿着竖直方向可升降，其中，位于两边的接地柱设置成相对于所述汽缸驱动器的活塞杆位于外侧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110427322.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种减小无功补偿装置布置占地的方法
- 下一篇：一种高压排泄缓冲装置
