[发明专利]回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法无效
| 申请号： | 201110384085.4 | 申请日： | 2011-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN103130244A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 李昆池 | 申请（专利权）人： | 昆山科技大学 |
| 主分类号： | C01C1/12 | 分类号： | C01C1/12 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人： | 朱凌 |
| 地址： | 中国台湾台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，主要为解决习用技术的处理含氨废气方法的未能解决废水中含有机金属及粉尘的问题，本发明的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法包含：A.将含有有机金属或粉尘及氨气的废气导引至一第一空间中；B.在该第一空间中以一碱洗溶液施以一循环碱洗程序；C.使废气中的氨气在该循环碱洗程序中与废气中的有机金属或粉尘分离；D.收集上述C步骤所分离出的氨气。本发明的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法可提供光电半导体或太阳能电池等产业回收进行有机金属化学气相沉积法(MOCVD)或电浆辅助化学气相沈积法(PECVD)或化学气相沉积法(CVD)后产生的废气的回收应用。 | ||
| 搜索关键词： | 回收 含有 有机 金属 粉尘 废气 中的 氨气 方法 | ||
【主权项】：
一种回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，其特征在于，包括下列步骤：A.将含有有机金属或粉尘及氨气的废气导引至一第一空间中；B.在该第一空间中以一碱洗溶液施以一循环碱洗程序；C.使废气中的氨气在该循环碱洗程序中与废气中的有机金属或粉尘分离；D.收集上述C步骤所分离出的氨气。
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