[发明专利]一种疏水疏油表面微结构及其制备方法无效
| 申请号： | 201110354829.8 | 申请日： | 2011-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN102427083A | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 吴天准;袁丽芳;祝渊;桂许春;项荣;汤子康;铃木雄二 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L21/306;H01L21/3065;B81B1/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 陈卫 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种疏水疏油表面微结构，包括基底与刻蚀在基底上的T型微纳米结构，所述T型微纳米结构包括竖部与横部，所述横部设在竖部顶端。该疏水疏油表面的制作工艺包括基板清洗、掩模图形转移、XeF2气相刻蚀工艺或DRIE刻蚀工艺、化学气相沉积工艺或全氟化硅烷单分子自组装，即可得到机械稳定性高、工艺重复性好与且几何结构可控的疏水疏油表面微结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 疏水 表面 微结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种疏水疏油表面微结构，其特征在于：包括基底与刻蚀在基底上的T型微纳米结构，所述T型微纳米结构包括竖部（1）与横部（2），所述横部（2）设在竖部（1）顶端,且横部（2）与竖部（1）中央对齐。
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