[发明专利]化学气相沉积炉

摘要

本发明的目的在于提供一种气相沉积炉，该气相沉积炉包括炉体、加热体、进气口、出气口以及模具，进气口在炉体底部或顶部，其特征在于：在炉体内或炉体外设有旋转机构，所述旋转机构由1~36个齿轮、转盘、齿套、伞齿轮组、连接轴以及电机组成，电机通过伞齿轮组与转盘相连，齿轮通过连接轴固定在转盘上，齿套在所有齿轮外围固定，并与齿轮啮合，转盘转动带动齿轮沿着圆盘式齿套旋转，每个齿轮上都吊挂或直立一个模具，模具随着齿轮的自转公转实现了产品在炉内的公转与自转。采用该气相沉积炉制备热解氮化硼制品，能够提高PBN产品质量及其生产效率，降低生产成本。

主权项

化学气相沉积炉，其由下述几部分构成：炉体（1）、进气口（2）、出气口（3）、模具（4）、旋转机构（5）以及发热体（6）；其中：发热体（6）、进气口（2）、出气口（3）都布置在炉体（1）上，进气口（2）设置在炉体（1）的上部，旋转机构（5）由转盘（5.1）、齿轮（5.2）、连接轴（5.3）、伞齿轮组（5.4）、齿套（5.5）以及电机（5.6）组成，发热体（6）由感应线圈（6.1）、加热体（6.2）以及石墨套筒（6.3）组成；电机（5.6）通过伞齿轮组（5.4）与转盘（5.1）相连，齿轮（5.2）共有5个且皆通过连接轴（5.3）固定在转盘（5.1）上，且每个齿轮（5.2）上都设置有一个模具4；其特征在于：所述旋转机构（5）设置在炉体（1）内的上端；进气口为三同心圆进气口。