[发明专利]发光器件制造方法无效
| 申请号： | 201110251381.7 | 申请日： | 2008-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN102330151A | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 藤原伸介;吉田浩章 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;H01L33/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 陈海涛;樊卫民 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种发光器件制造方法，其特征在于，在III族氮化物晶体衬底上形成至少单层的III族氮化物层，所述III族氮化物晶体衬底具有表面积不小于10cm2的主面，其中，在主面的除了从其外周到距离该外周5mm范围内的外周边缘区域之外的主要区域中，总位错密度是1×104cm-2至3×106cm-2，并且螺旋位错密度对所述总位错密度的比率是0.5以上。优选地，所述螺旋位错密度对所述总位错密度的比率是0.9以上。所制得的发光器件具有高发光强度。 | ||
| 搜索关键词： | 发光 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种发光器件制造方法，其特征在于，在III族氮化物晶体衬底上形成至少单层的III族氮化物层，所述III族氮化物晶体衬底具有表面积不小于10cm2的主面，其中，在主面的除了从其外周到距离该外周5mm范围内的外周边缘区域之外的主要区域中，总位错密度是1×104cm‑2至3×106cm‑2，并且螺旋位错密度对所述总位错密度的比率是0.5以上。
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