[发明专利]钽基电极叠层无效
| 申请号： | 201110241831.4 | 申请日： | 2011-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN102376755A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 威廉姆·F·A·贝斯林;阿尔诺德·L·鲁斯特;克劳斯·莱曼;琳达·范鲁肯-彼德斯 | 申请（专利权）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/43 | 分类号： | H01L29/43;H01L29/41;H01L29/92;H01L21/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王玮 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种电子器件，包括金属一绝缘体一金属电容性器件。结合示例实施例，金属一绝缘体一金属(MIM)电容器器件位于衬底中，所述衬底包括表面和具有高纵横比侧壁的三维结构。所述MIM电容器器件包括：第一电容器电极，包括铂族金属(PGM)基层和位于所述PGM基层和所述侧壁之一之间的Ta基层。所述MIM电容器还包括第二电容器电极以及位于所述第一和第二电极之间的绝缘材料。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 | ||
【主权项】：
一种电子器件，包括：衬底，具有表面和三维结构，所述三维结构具有高纵横比的侧壁；以及金属‑绝缘体‑金属电容器，包括：第一电容器电极，包括铂族金属基层和Ta基层，所述Ta基层位于铂族金属基层和侧壁之一之间；第二电容器电极；以及所述第一和第二电容器电极之间的绝缘材料。
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