[发明专利]一种双极型晶体管器件掺杂结构的PN结染色方法无效
| 申请号： | 201110221253.8 | 申请日： | 2011-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN102338758A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 张涛 | 申请（专利权）人： | 上海华碧检测技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22;G01N1/30;H01L21/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200433 上海市杨*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种双极型晶体管器件掺杂结构的PN结染色方法，包括以下步骤：A、按体积比HF∶HNO3∶CH3COOH∶H2O＝1∶20∶5∶10进行双极型晶体管器件掺杂结构染色液的配制；B、把金相切片好的双极型晶体管样品浸泡入上述染色液中25秒钟后取出，取出过程中保证样品截面不触碰任何物品，确保截面干净；C、使用扫描电子显微镜进行截面观察该双极型晶体管器件掺杂区，拍下扫描电子显微镜扫描的照片，并测量相关掺杂结构的结深。通过本发明方法，以后再进行该同种双极型晶体管器件掺杂结构结深确认只需使用得出的最佳经验值来获取即可，既快速又经济，所有掺杂结构的结深可以在一张图片中获得。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双极型 晶体管 器件 掺杂 结构 pn 染色 方法 | ||
【主权项】：
一种双极型晶体管器件掺杂结构的PN结染色方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：A、按体积比HF∶HNO3∶CH3COOH∶H2O＝1∶20∶5∶10进行双极型晶体管器件掺杂结构染色液的配制；B、把金相切片好的双极型晶体管样品浸泡入上述染色液中25秒钟后取出，取出过程中保证样品截面不触碰任何物品，确保截面干净；C、使用扫描电子显微镜进行截面观察该双极型晶体管器件掺杂区，拍下扫描电子显微镜扫描的照片，并测量相关掺杂结构的结深。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华碧检测技术有限公司，未经上海华碧检测技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110221253.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：IP多媒体子系统业务管理方法和系统
- 下一篇：主动启闭式单向阀
