[发明专利]LED衬底加工用研磨液及其制备方法有效
| 申请号： | 201110207947.6 | 申请日： | 2011-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN102337084A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 王志强;方伟 | 申请（专利权）人： | 郑州磨料磨具磨削研究所;郑州三磨超硬材料有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L33/00 |
| 代理公司： | 郑州中原专利事务所有限公司 41109 | 代理人： | 霍彦伟;郑园 |
| 地址： | 450001 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种LED衬底加工用研磨液，包括溶剂、添加剂和研磨剂，研磨剂由金刚石微粉及非金刚石纳米级抛光材料组成；金刚石微粉，纯度为99%以上，粒度为：W0.5~W20；非金刚石纳米级抛光材料为氧化铝、氧化硅、氧化铈、氧化铬中的任意一种或任意几种的混合物，粒度为10~100nm，纯度为99%以上。本发明在采用微米级金刚石作为磨料的同时，复合加入非金刚石纳米级抛光材料，既能保证研磨速率，又能很好的保证工件表面的加工质量。 | ||
| 搜索关键词： | led 衬底 工用 研磨 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种LED衬底加工用研磨液，包括溶剂、添加剂和研磨剂，其特征是：研磨剂由金刚石微粉及非金刚石纳米级抛光材料组成；金刚石微粉，纯度为99%以上，粒度为：W0.5~ W20；非金刚石纳米级抛光材料为氧化铝、氧化硅、氧化铈、氧化铬中的任意一种或任意几种的混合物，粒度为10~100nm，纯度为99%以上。
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