[发明专利]一种制作声表面波传感器二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜的方法无效
| 申请号： | 201110155259.X | 申请日： | 2011-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN102820867A | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 李冬梅;汪幸;刘明;周文;侯成诚;闫学锋;谢常青 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制作声表面波传感器二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜的方法，该方法是由TiO2掺杂CuPc作为敏感材料，通过混合和压制形成TiO2与CuPc混合材料，电子束蒸发该TiO2与CuPc混合材料，并剥离光刻胶形成二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜。本发明通过将TiO2加入CuPc中制作聚合敏感膜，使得常温下使用酞菁材料去检测NO2气体变为可能，而且具有该二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜的传感器与单纯CuPc敏感膜的传感器相比，检测低浓度NO2气体时在选择性、灵敏度和检测质量均有大幅的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制作 表面波 传感器 氧化 掺杂 酞菁铜 敏感 方法 | ||
【主权项】：
一种制作声表面波传感器二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜的方法，其特征在于，该方法是由TiO2掺杂CuPc作为敏感材料，通过混合和压制形成TiO2与CuPc混合材料，电子束蒸发该TiO2与CuPc混合材料，并剥离光刻胶形成二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜。
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