[发明专利]具有冷却布置的检测器模块、包括所述检测器模块的光刻设备有效
| 申请号： | 201080016150.1 | 申请日： | 2010-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN102388344A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | B·克拿伦;R·特克;A·E·科克尔 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01M11/02;G02B7/00;G02B5/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴敬莲 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 描述了一种检测器模块(20)，其包括：至少一个检测器(30)，用于感测光子辐射；电子电路(40)，耦接至所述至少一个检测器(30)；和具有第一和第二主体(60，70)的壳体(50)，每一主体具有底部部分(62，72)和从所述底部部分(62，72)延伸的至少部分筒形部分(64，74)，其中所述第一主体(60)的至少部分筒形部分(64)与所述第二主体(70)的至少部分筒形部分(74)热耦接，其中所述第一主体(60)的至少部分筒形部分(64)朝向所述第二主体(70)的底部部分(72)延伸，且其中所述电子电路(40)布置在所述壳体(50)的内部。还描述了包括检测器模块(20)的光刻设备。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 冷却 布置 检测器 模块 包括 光刻 设备 | ||
【主权项】：
一种检测器模块(20；21；22)，包括：至少一个检测器(30)，用于感测光子辐射；电子电路(40)，耦接至所述至少一个检测器(30)；和具有第一和第二主体(60，70)的壳体(50)，每一主体具有底部部分(62，72)和从所述底部部分(62，72)延伸的至少部分筒形部分(64，74)，其中所述第一主体(60)的所述至少部分筒形部分(64)与所述第二主体(70)的所述至少部分筒形部分(74)热耦接，其中所述第一主体(60)的所述至少部分筒形部分(64)朝向所述第二主体(70)的所述底部部分(72)延伸，且其中所述电子电路(40)布置在所述壳体(50)的内部。
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