[实用新型]以蓝宝石为基板的氮化物基半导体装置有效
| 申请号： | 201020697905.6 | 申请日： | 2010-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN202009028U | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 李志翔;吴东海 | 申请（专利权）人： | 同方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/12 | 分类号： | H01L33/12;H01L33/32;H01L33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100083 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 以蓝宝石为基板的氮化物基半导体装置，涉及光电技术领域。本实用新型包括蓝宝石基板和蓝宝石基板上方的氮化物外延层。其结构特点是，所述蓝宝石基板的下表面置有金属层。同现有技术相比，本实用新型在蓝宝石基板的下表面形成一金属层，从而避免或者减小在蓝宝石基板上表面外延氮化物材料时产生翘曲的几率，预防蓝宝石基板破裂的可能性，具有工艺简单，成本不高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 氮化物 半导体 装置 | ||
【主权项】：
以蓝宝石为基板的氮化物基半导体装置，它包括蓝宝石基板(10)和蓝宝石基板(10)上方的氮化物外延层(12)，其特征在于，所述蓝宝石基板(10)的下表面置有金属层(11)。
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