[实用新型]一种阴极镀膜设备无效
| 申请号： | 201020527279.6 | 申请日： | 2010-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN201785480U | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 吴华夏;孟昭红;沈旭东;方卫;于晨晨;陈爱民 | 申请（专利权）人： | 安徽华东光电技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 241002 安徽省芜*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种阴极镀膜设备，包括有壳体，壳体底部有管口，壳体顶部有顶盖，壳体顶部两端外有螺线包，壳体顶部中有竖向屏蔽罩，壳体中有两层中间有开孔的横向屏蔽罩，上层的横向屏蔽罩开孔中安装有支架，壳体中靠近管口有靶材，壳体顶部两端还有灯丝，灯丝与竖向屏蔽罩之间还有半圆形屏蔽罩，从横向屏蔽罩、靶材及半圆形屏蔽罩上分别有导线从壳体底部引出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种阴极镀膜设备，包括有T形壳体，所述壳体顶部敞口，底部连通有供等离子体射入的管口，所述壳体顶部敞口盖合有顶盖，其特征在于：所述壳体T形顶部两端外缠绕有螺线包，壳体T形顶部中对应螺线包的两端内还分别设置有竖向屏蔽罩，所述壳体中从上到下依次设置有两层中间有位置对应的开孔的横向屏蔽罩，其中上层的横向屏蔽罩开孔中安装有支架，所述壳体中靠近底部管口位置设置有与下层横向屏蔽罩的开孔位置对应的靶材，所述壳体T形顶部两端内还分别设置有灯丝，所述灯丝位于所述横向屏蔽罩两端，且灯丝与对应位置的竖向屏蔽罩之间还分别设置有罩在灯丝外的半圆形屏蔽罩，从所述上层的横向屏蔽罩、靶材及半圆形屏蔽罩上分别连接有导线，所述导线从壳体底部引出。
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