[实用新型]光纤端面微光学器件数字光刻的装置无效
| 申请号： | 201020139081.0 | 申请日： | 2010-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN201654453U | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 高益庆;余秋香;罗宁宁;龚勇清;陈敏;肖孟超;喻立霞;叶青 | 申请（专利权）人： | 南昌航空大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B6/26 |
| 代理公司： | 南昌洪达专利事务所 36111 | 代理人： | 刘凌峰 |
| 地址： | 330000 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种光纤端面微光学器件数字光刻的装置，其特征是数字微镜器和面阵CCD通过导线连接计算机，LED光源的输出光线通过紫外线截止滤光片照射数字微镜器件，紫外光源的输出光线通过扩束准直均匀器照射数字微镜器件，数字微镜器件、半反半透分光棱镜、精缩投影物镜和光纤依次排序形成一条直线，光纤在调节台上。本实用新型的技术效果是：(1)使微光学器件更好的应用在光纤领域；(2)光纤端面微光学器件的掩模由计算机控制输出，具有设计灵活、实时控制的优点；(3)对于表面浮雕结构复杂的光纤微光学器件，由计算机控制实时更换掩模，通过多张掩模的叠加曝光来实现，降低制作难度。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤 端面 微光 器件 数字 光刻 装置 | ||
【主权项】：
一种光纤端面微光学器件数字光刻的装置，它包括调节台、半反半透分光棱镜、紫外光源、扩束准直均匀器、计算机、数字微镜器件、紫外线截止滤光片、LED光源、面阵CCD、精缩投影物镜、光纤，其特征是数字微镜器件和面阵CCD通过导线连接计算机，LED光源的输出光线通过紫外线截止滤光片照射数字微镜器件，紫外光源的输出光线通过扩束准直均匀器照射数字微镜器件，数字微镜器件、半反半透分光棱镜、精缩投影物镜和光纤依次排序形成一条直线，光纤连接调节台。
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