[发明专利]处理模块、基片处理装置以及基片运送方法

摘要

本发明提供可快速地运送基片并有助于提高生产能力的处理模块、包括该处理模块的基片处理装置以及它们中的基片运送方法。根据本发明一个实施方式的处理模块(15)包括：载置部(15S)，其载置基片(W)，被载置的所述基片(W)被进行基片处理；以及基片运送机构(150)，其包括多个基片保持用具(15U、15M、15D)，所述多个基片保持用具(15U、15M、15D)能够分别独立地位于第一位置或第二位置并且能够分别保持基片，其中，所述第一位置是相对于外部的基片运送装置(16)进行基片交接的位置，并且所述第二位置是所述载置部(15S)的上方的位置。

主权项

一种处理模块，包括：载置部，其载置基片，被载置的所述基片被进行基片处理；以及基片运送机构，其包括多个基片保持用具，所述多个基片保持用具能够分别独立地位于第一位置或第二位置并且能够分别保持基片，其中，所述第一位置是相对于外部的基片运送装置进行基片交接的位置，并且所述第二位置是所述载置部的上方的位置。