[发明专利]一种用于光刻设备的对准探测装置有效
| 申请号： | 201010181612.7 | 申请日： | 2010-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN102253603A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 戈亚萍;杜聚有;徐荣伟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于光刻设备的对准探测装置，包括在其下表面上形成有用于掩模对准的透射型标记的晶片台基准板；中心与相应的透射型标记的中心对齐的光子转换晶体，用于将紫外光转换为可见光；用于安装光子转换晶体的光学支架；用于对光进行传播隔离以及隔离外界热源的隔离板；安装于隔离板上的用于滤除可见光波段外的无用光的光学滤波片；与光学滤波片直接相连的光纤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 设备 对准 探测 装置 | ||
【主权项】：
一种用于光刻设备的对准探测装置，包括：晶片台基准板，具有至少一个用于掩模对准的透射型标记，所述标记被形成于晶片台基准板的下表面；光子转换晶体，用于将紫外光转换为可见光，其数量与透射型标记的数量相同，每个光子转换晶体的中心与相应的透射型标记的中心对齐；光学支架，其上具有用于安装光子转换晶体的通孔和定位暗销的孔，通孔的数量与光子转换晶体的数量相同；隔离板，用于对透过光学支架的单元光进行传播隔离，其上具有与光学支架上通孔数量相同数量的通孔；光学滤波片，用于滤除可见光波段外的无用光，每个都分别被安装于隔离板上的相应通孔中；光纤，每个都与相应的光学滤波片直接相连。
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