[发明专利]一种具有电调谐功能的微机械梳状栅电容陀螺有效
| 申请号： | 201010151653.1 | 申请日： | 2010-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN101813480A | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 胡世昌;金仲和;张霞;朱辉杰 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 陈昱彤 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有电调谐功能的微机械梳状栅电容陀螺，属于微机械惯性传感器领域。在所述陀螺的驱动或检测方向分布有电调谐变面积电容，在所述电调谐变面积电容的每个单元电容中，可动电极的正表面与固定电极的正表面相互平行，其中，所述可动电极的正表面为矩形且固定电极的正表面为三角形或锯齿形，或者所述可动电极的正表面为三角形或锯齿形且固定电极的正表面为矩形；所述三角形正表面仅与所述矩形正表面的一条长边交叠。本发明通过其驱动或检测方向上分布的电调谐变面积电容调节驱动或检测方向的谐振频率，使同批次陀螺器件性能趋于一致；并使驱动与检测方向的谐振频率趋于一致甚至相等，极大地提高了陀螺的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 调谐 功能 微机 械梳状栅 电容 陀螺 | ||
【主权项】：
一种具有电调谐功能的微机械梳状栅电容陀螺，其特征是：在所述陀螺的驱动或检测方向分布有电调谐变面积电容，在所述电调谐变面积电容的每个单元电容中，可动电极的正表面与固定电极的正表面相互平行，其特征是：所述可动电极的正表面为矩形且固定电极的正表面为三角形或锯齿形，或者所述可动电极的正表面为三角形或锯齿形且固定电极的正表面为矩形；所述三角形正表面仅与所述矩形正表面的一条长边交叠。
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- 沃纳·施罗德 - 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
- 2009-11-12 - 2011-10-12 - G01C19/56
- 一种用于描述科式陀螺仪的特征的方法，其中，将包括力传递器、机械谐振器和激励振荡/读取振荡分接头的系统的相互作用表示为离散耦合微分方程组，该方程组的变量表示从力传递器传递至机械谐振器的力信号以及从激励振荡/读取振荡分接头读取的读取信号，并且该方程组的系数包含与将力信号映射为读取信号的线性变换有关的信息；通过测量不同时刻的力信号值和读取信号值并将这些力信号值和读取信号值代入该方程组中来确定系数，并且根据这些系数来对该方程组进行数值求解；以及，使用这些系数来推断科式陀螺仪的使所述科氏陀螺仪的旋转速率有误的不期望的偏差性质。
- 一种硅微机械陀螺仪-201020574687.7
- 张福学;王凌;张伟;王丽坤;刘宇;赵辉 - 北京信息科技大学
- 2010-10-15 - 2011-10-05 - G01C19/56
- 本实用新型提供一种硅微机械陀螺仪，包括无驱动结构硅微机械陀螺，与无驱动结构硅微机械陀螺耦合的驱动电机。此外，还可以包括滑环；无驱动结构硅微机械陀螺连接到滑环；驱动电机和滑环通过连接件连接。本实用新型在无驱动结构陀螺上，通过加载电机驱动提供自旋角速度，产生陀螺效应，来敏感非旋转载体和旋转载体的各种姿态信息。通过选用微型扁平电机、微型滑环及角接触球轴承和弹性膜片联轴器等连接件与陀螺轴向连接，同时采取有效措施提高信噪比，降低了电机驱动带来的振动噪声对提取有效信号的影响。
- 振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法-201110070704.2
- 川内修;宫沢茂喜;高山胜己;山口启一 - 精工爱普生株式会社
- 2005-09-29 - 2011-09-28 - G01C19/56
- 本发明提供一种振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法，该振动型陀螺仪可改变使用质量除去装置可除去的最低除去量，从而能够进行固有共振频率的粗调和微调。本发明的振动型陀螺仪的压电振动片(10)由以下部分构成：从基部(12)向相反方向延伸的连接臂(13、14)；从连接臂(13、14)各自的前端沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的驱动臂(15A、15B、15C、15D)；和从基部(12)沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的检测臂(16A、16B)，在驱动臂(15A、15B、15C、15D)及检测臂(16A、16B)各自的前端部上，形成有由锤层(18、20)和电极膜(17)构成的作为质量调节用的调节部的第一锤部(19)和第二锤部(23)。
- 物理量检测元件、物理量检测装置及电子设备-201110069066.2
- 雨宫正树 - 精工爱普生株式会社
- 2011-03-22 - 2011-09-28 - G01C19/56
- 物理量检测元件、物理量检测装置及电子设备，具备在Z轴方向上具有厚度的双T型压电振动片并能检测绕X轴的角速度。本发明的物理量检测元件(100)中，一对驱动振动臂中的一方(30a)和另一方(30b)以相反的相位在X轴方向弯曲振动，一对第1检测振动臂(40a、40b)和一对第2检测振动臂(50a、50b)随一对驱动振动臂(30a、30b)的弯曲振动而以相反的相位在Y轴方向振动，通过由绕X轴的旋转的角速度产生的科里奥利力，使一对第1检测振动臂中的一方(40a)和另一方(40b)除Y轴方向的振动外，还以第1相位在Z轴方向弯曲振动，且使一对第2检测振动臂中的一方(50a)和另一方(50b)除Y轴方向的振动外，还以与第1相位相反的第2相位在Z轴方向弯曲振动。
- 用于转速传感器的电极装置，转速传感器和求出转速的方法-201110053507.X
- T·奥姆斯;D·C·梅塞尔;J·豪尔 - 罗伯特·博世有限公司
- 2011-03-07 - 2011-09-21 - G01C19/56
- 本发明涉及用于具有振动装置的转速传感器（2）的电极装置（1），它具有至少一个电极（11，12），并且可以在由电极装置（1）规定的平面（15）里和/或垂直于这个平面激发振动，其中电极装置（1）具有至少一个固定的对置电极（18），用于电容性地检测具有电极（11，12）的振动装置部段横交垂直于平面（15）的偏离。设计使电极装置（1）具有多个固定的对置电极（18，19），其中至少一个对置电极（18）布置在平面（15）的一侧，并且有至少另一个对置电极（19）在平面（15）的另一侧，相互镜像对称，用于构成至少一个电极对（16，17）。本发明此外还设计一种相应的转速传感器（2）和一种用于通过测量电容差求出转速的方法。
- 专利分类
