[发明专利]三氯硅烷的制造装置和制造方法有效
| 申请号： | 201010136864.8 | 申请日： | 2010-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN101844769B | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 斋木涉;T·阿克巴伊 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 蔡晓菡;孙秀武 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供有效地抑制三氯硅烷向四氯硅烷的转化反应和聚合物的生成、三氯硅烷的回收率高的三氯硅烷的制造装置和制造方法。三氯硅烷的制造装置具有：将含有四氯硅烷和氢的原料气体转化成反应生成气体的转化炉、为了将含有三氯硅烷的反应生成物回收而对从上述转化炉供给的反应生成气体进行冷却的冷却器，该冷却器具备喷雾冷却液的多个喷嘴。这些喷嘴喷出的冷却液的平均液滴径各自不同，而且所述多个喷嘴的喷雾量可以分别调节。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
三氯硅烷的制造装置，其具有：将含有四氯硅烷和氢的原料气体转化成反应生成气体的转化炉、将从上述转化炉供给的上述反应生成气体冷却的冷却器、上述冷却器所具有的用于喷雾冷却液的多个喷嘴，上述多个喷嘴以喷出具有至少2种不同的平均液滴径的冷却液的方式构成，上述多个喷嘴喷出的冷却液的喷雾容量可以独立地调节。
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