[发明专利]固态图像拾取器件及其制造方法有效
申请号: | 200980161788.1 | 申请日: | 2009-10-09 |
公开(公告)号: | CN102549748A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 山下雄一郎;小林昌弘;大贯裕介 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 卜荣丽 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 提供一种在像素中具有电荷保持部分的固态图像拾取器件,其中,无论电荷保持部分的杂质浓度如何,都提高从电荷保持部分到FD的电荷传输效率。所以固态图像拾取器件具有:光电转换部分;电荷保持部分,其包括第一传导类型第一半导体区;和传输部分,其包括传输栅电极,所述传输栅电极控制电荷保持部分与感测节点之间的电势。电荷保持部分包括控制电极,第二传导类型第二半导体区设置在控制电极与传输栅电极之间的半导体区的表面上,所述第二半导体区具有比第一半导体区的杂质浓度高的杂质浓度,第一传导类型第三半导体区设置在第二半导体区下面,第三半导体区的杂质浓度比第一半导体区的杂质浓度高。 | ||
搜索关键词: | 固态 图像 拾取 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种包括多个像素的固态图像拾取器件,所述多个像素中的每个包括:光电转换部分,其被构造为根据入射光产生电荷;电荷保持部分,其被构造为包括第一传导类型第一半导体区,所述第一传导类型第一半导体区将由所述光电转换部分产生的电荷保持在与所述光电转换部分不同的部分中;和传输部分,其被构造为包括传输栅电极,所述传输栅电极控制所述电荷保持部分与感测节点之间的电势,其中,所述电荷保持部分包括控制电极,所述控制电极通过绝缘膜设置在所述第一半导体区上方,其中,第二传导类型第二半导体区设置在所述控制电极与所述传输栅电极之间的半导体区的表面上,所述第二半导体区具有比所述第一半导体区的杂质浓度高的杂质浓度,其中,第一传导类型第三半导体区设置在所述第二半导体区下面、从所述电荷保持部分延伸到所述感测节点的电荷路径中,并且其中,所述第三半导体区的杂质浓度比所述第一半导体区的杂质浓度高。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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