[发明专利]镀膜装置

摘要

一种镀膜装置，其包括镀膜室及设置在该镀膜室内的靶材承载装置及基材承载装置。靶材承载装置包括本体及至少一个靶材座，本体内开设溅射腔，该本体具有环绕溅射腔的内侧壁。靶材座设于内侧壁上。基材承载装置设于溅射腔内，其包括至少一个基材座。镀膜装置还包括第一驱动装置和第二驱动装置。第一驱动装置与基材承载装置连接，用于驱动基材承载装置相对于靶材承载装置旋转。第二驱动装置与靶材承载装置连接，用于驱动靶材承载装置绕溅射腔旋转。该镀膜装置通过使基材承载装置相对于靶材承载装置旋转，从而使基材的不同待镀表面均可朝向靶材，以提高膜层的均匀度。而且，由于靶材承载装置可以绕溅射腔旋转，因此可使各靶材消耗程度比较均匀。

主权项

一种镀膜装置，其包括一个镀膜室及设置在该镀膜室内的靶材承载装置及基材承载装置，其特征在于，所述靶材承载装置包括一个本体及至少一个靶材座，所述本体内开设一个溅射腔，该本体具有一个环绕所述溅射腔的内侧壁，所述靶材座设于所述内侧壁上；所述基材承载装置设于所述溅射腔内，该基材承载装置包括至少一个基材座，该基材座与所述内侧壁相对设置；所述镀膜装置还包括一个第一驱动装置和一个第二驱动装置，该第一驱动装置与所述基材承载装置连接，用于驱动该基材承载装置相对于所述靶材承载装置旋转；该第二驱动装置与所述靶材承载装置连接，用于驱动该靶材承载装置绕所述溅射腔旋转。