[发明专利]一种制备单晶硅绒面的腐蚀液及方法无效
| 申请号： | 200910091826.2 | 申请日： | 2009-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN101634026A | 公开（公告）日： | 2010-01-27 |
| 发明（设计）人： | 许颖;勾宪芳;励旭东;宋爽;张燕鹏;谢芳吉 | 申请（专利权）人： | 北京市太阳能研究所有限公司;江苏艾德太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/32 | 分类号： | C23F1/32;C30B33/10;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐 宁 |
| 地址： | 10019*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制备单晶硅绒面的腐蚀液及方法，它包括碱溶液、硅酸钠和异丙醇，其特征在于：它还包括体积百分比为0.2％～1％浓度范围为5*10-5～5*10-3mol/L的全氟辛酸盐水溶液；所述碱溶液的质量百分比为1％～2.5％，所述硅酸钠的质量百分比为0.1％～2％，所述异丙醇的体积百分比为0.3％～2％；所述碱溶液为氢氧化钠或氢氧化钾或碳酸钠。本发明成本低，制备出的单晶硅绒面上形成的金字塔尺寸小，且均匀，利于太阳能吸收，可以广泛应用在太阳能电池领域中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 单晶硅 腐蚀 方法 | ||
【主权项】：
1、一种制备单晶硅绒面的腐蚀液，它包括碱溶液、硅酸钠和异丙醇，其特征在于：它还包括体积百分比为0.2％～1％浓度范围为5*10-5～5*10-3mol/L的全氟辛酸盐水溶液。
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