[发明专利]多温段同时退火的真空退火装置

摘要

一种多温段同时退火的真空退火装置，包括真空箱体、加热炉、温度传感器、集热罩、集热罩支架、薄膜托盘、托盘支撑杆和托盘调节机构；托盘调节机构包括支座、支撑架、主调节螺杆、调节架、辅调节螺杆、连接板和托盘调节杆。加热炉放置在真空箱体底部，集热罩支架环绕加热炉设置，集热罩安装在集热罩支架上；支座安装在真空箱体顶板上，支撑架安装在支座上，主调节螺杆位于支撑架和调节架的螺孔中，托盘支撑杆的上端固定在调节架上，下端伸入真空箱体内，薄膜托盘至少为两个，各薄膜托盘相隔一间距套装在托盘支撑杆下部段；托盘调节杆、连接板、辅调节螺杆和温度传感器的数量与薄膜托盘相同。此种退火装置可使多个薄膜样品在不同温度同时退火。

主权项

1、一种多温段同时退火的真空退火装置，包括真空箱体(1)、加热炉(2)、温度传感器、温度控制器，其特征在于还包括集热罩(4)、集热罩支架(3)、薄膜托盘(5)、托盘支撑杆(7)和托盘调节机构，托盘调节机构包括支座(9)、支撑架(11)、主调节螺杆(12)、调节架(13)、辅调节螺杆(14)、连接板(15)和托盘调节杆(6)；加热炉(2)放置在真空箱体(1)底部，集热罩支架(3)环绕加热炉设置，集热罩(4)安装在集热罩支架(3)上；支座(9)安装在真空箱体(1)的顶板上，支撑架(11)安装在支座(9)上，主调节螺杆(12)位于支撑架(11)和调节架(13)的螺孔中，托盘支撑杆(7)的上端固定在调节架(13)上，其下端穿过支座(9)和真空箱体顶板上的过孔伸入真空箱体内，薄膜托盘(5)至少为两个，各薄膜托盘相隔一间距套装在托盘支撑杆(7)下部段，托盘支撑杆(7)套装有薄膜托盘的下部段位于集热罩(4)内；托盘调节杆(6)、连接板(15)、辅调节螺杆(14)和温度传感器(22)的数量与薄膜托盘(5)的数量相同，各托盘调节杆的上端分别固定在对应的连接板上，其下端穿过调节架(13)、支座(9)和真空箱体顶板上的过孔伸入真空箱体内并分别与对应的薄膜托盘连接，各辅调节螺杆分别位于调节架(13)和对应的连接板的螺孔中，各温度传感器分别安装在对应的薄膜托盘上，其信号输出端与温度控制器连接；所述支座(9)与真空箱体(1)的顶板之间设置有密封件，所述托盘支撑杆(7)和托盘调节杆(6)与支座(9)的过孔之间设置有密封件。