[发明专利]基板处理装置的设定操作支援装置及其方法有效
| 申请号： | 200810088176.1 | 申请日： | 2008-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN101256408A | 公开（公告）日： | 2008-09-03 |
| 发明（设计）人： | 山本政和 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G05B19/42 | 分类号： | G05B19/42;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘春成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板处理装置的设定操作支援装置及其方法。该基板处理装置的设定操作支援装置中设置有：基板处理装置的结构物中能够进行动作的设定的动作对象物；执行该动作的模拟的模拟器；触摸屏式的运行操作显示部和模拟操作显示部；以及功能设定按钮，预先使动作对象物和与其动作设定有关的画面相关联并存储在画面存储部中。在运行操作显示部中显示动作对象物的动画时，当按下功能设定按钮，通过触摸操作特定动作对象物时，从画面存储部中检索与其相关联的设定画面并在运行操作显示部中进行显示。据此，在进行基板处理装置的设定操作时，能够通过简单的操作立即显示希望的画面。由此能够消除繁琐的设定操作，提高使用的便利性。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 设定 操作 支援 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种支援基板处理装置的设定操作的设定操作支援装置，其特征在于，包括：用于操作所述基板处理装置的操作对象物；至少能够显示与所述操作对象物的设定有关的画面的触摸屏式的操作显示部；存储根据与所述操作对象物的设定有关的画面设定的事项的设定存储部；设定支援按钮；存储预先使所述操作对象物和与该操作对象物的设定有关的画面相关联的操作对象物设定关联画面信息的画面存储部；和当所述设定支援按钮被按下，进行所述操作对象物的操作时，从所述画面存储部中检索与该操作对象物相关联的画面并使之在所述操作显示部中显示的控制部。
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