[发明专利]等离子体处理装置、高频电源的校正方法、高频电源

摘要

本发明提供一种等离子体处理装置、高频电源的校正方法和高频电源。该等离子体处理装置设置有：高频电源(200)，其具有能够将高频电力的电力设定值与偏移值作为数字数据输入的接口单元(204)，根据电力设定值和偏移值调整目标电力输出值，并从电力输出端子(202)输出与该目标电力输出值相应的高频电力；处理室(300)，其经由匹配器(104)被供给经由同轴电缆(102)传送的高频电力；和电源控制单元(400)，其在校正高频电源时，根据电力设定值与匹配器的输入电力的值的差值求取偏移值，通过将电力设定值与偏移值数字传送至高频电源的数据输入端子，以使匹配器的输入电力的值成为电力设定值的方式控制高频电源的输出电力。

主权项

1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：高频电源，其具有至少能够将高频电力的电力设定值与用于校正输出电力的偏移值作为数字数据输入的数据输入端子、和输出所述高频电力的电力输出端子，根据所述电力设定值与所述偏移值调整目标电力输出值，从所述电力输出端子输出与该目标电力输出值相应的高频电力；处理室，其经由匹配器被供给从所述高频电源经由传送路径传送的高频电力且利用由此生成的处理气体的等离子体对被处理基板实施等离子体处理；电力值检测单元，其介于所述传送路径与所述匹配器之间，且对输入所述匹配器的高频电力的值进行检测；和电源控制单元，其在校正所述高频电源时，根据所述电力设定值与由所述电力值检测单元检测出的电力检测值的差值求取所述偏移值，将所述电力设定值和所述偏移值数字传送至所述高频电源的数据输入端子，由此，以使输入所述匹配器的高频电力的值成为所述电力设定值的方式，控制从所述高频电源的电力输出端子输出的高频电力。