[发明专利]用于形成着色层的放射线敏感性组合物有效
申请号: | 200810083587.1 | 申请日: | 2008-03-12 |
公开(公告)号: | CN101266407A | 公开(公告)日: | 2008-09-17 |
发明(设计)人: | 龙恭一郎;一户大吾 | 申请(专利权)人: | JSR株式会社 |
主分类号: | G03F7/028 | 分类号: | G03F7/028;G02B5/20;G02F1/1335 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 孙秀武;李平英 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供用于形成滤色器着色层的放射线敏感性组合物,所述放射线敏感性组合物可以抑制因放射线敏感性聚合引发剂的升华导致的烧成炉、光掩膜等的污染,且不产生液体中杂质,而且显影性、图案形状等也优异。用于形成着色层的放射线敏感性组合物,其特征在于,含有(A)着色剂、(B)碱溶性树脂、(C)多官能性单体以及(D)以通式(1)表示的化合物作为必须成分的放射线敏感性聚合引发剂。 | ||
搜索关键词: | 用于 形成 着色 放射线 敏感性 组合 | ||
【主权项】:
1.用于形成着色层的放射线敏感性组合物,其特征在于,含有(A)着色剂、(B)碱溶性树脂、(C)多官能性单体以及(D)以下述通式(1)表示的化合物作为必须成分的放射线敏感性聚合引发剂,[化学式1]
[式(1)中,n是2~12的整数,R1表示氢、羟基或下述(I)、(II)或(III)分别表示的结构的任意一个基团,(III)中的R2是碳原子数1~12的烷基、碳原子数3~8的环烷基、或苯基(但是,可以被碳原子数1~6的烷基、碳原子数1~6的烷氧基的至少一个以上取代)],[化学式2]![]()
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