[发明专利]搬运装置有效
| 申请号： | 200810082815.3 | 申请日： | 2008-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN101256943A | 公开（公告）日： | 2008-09-03 |
| 发明（设计）人： | 池田泰人;森昌人 | 申请（专利权）人： | 株式会社ORC制作所 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L21/677;H01L21/68;B65G13/00;B65G13/12;B65G47/24;B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种搬运装置，在搬运基板的搬运工序中，可容易地在高度不同的基板处理装置及搬运装置之间移载基板，并且将移载后的基板整合为适于下一工序的姿势。本发明的搬运装置(1)包括多个辊子；具备上述辊子且具有以既定间隔并列设置的多根轨道部并且水平地搬运矩形基板(N)的辊式输送部(10)；使辊式输送部(10)在铅直方向上移动的铅直移动机构部(3)；以及一对整合部(30)，它们配置于基板(N)对置的端部侧，在辊式运输部(10)上通过推动基板(N)的端部来整合基板(N)的姿势，其中，铅直移动机构部(3)配置于辊式输送部(10)的一端侧，而辊式输送部(10)的另一端侧为自由端。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 装置 | ||
【主权项】：
1.一种搬运装置，其特征在于，该搬运装置包括：多个辊子；辊式输送部，该辊式输送部具备上述辊子并具有以既定间隔并列设置的多根轨道部，该辊式输送部用于水平地搬运矩形基板；铅直移动机构部，该铅直移动机构部用于使上述辊式输送部在铅直方向上移动；以及一对整合部，该整合部配置于上述基板的对置的端部侧，在上述辊式输送部上通过推动上述基板的端部来整合上述基板的姿势，其中，上述铅直移动机构部配置于上述辊式输送部的一端侧，而上述辊式输送部的另一端侧为自由端。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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