[发明专利]图形定位精度检测装置及其检测方法

摘要

本发明公开了一种图形定位精度检测装置及其检测方法，所述装置包括沿探测光路依次排列的相移模块、透射聚焦光学模块、掩模台、分光棱镜、准直模块、45度设置的分光镜、位于所述分光镜第一出射面上的对准传感器；照明光源模块，其出射光通过所述分光棱镜照射到掩模版的上表面；激光光源模块，其出射光通过分光模块分为参考光和透射光，所述参考光经参考光单模光纤入射至所述分光棱镜，所述透射光经透射光单模光纤入射至所述透射聚焦光学模块；所述分光镜的第二出射面上设有成像模块和图像传感器；与上述各部件相连的主控机，利用本发明的装置可准确测得图形位置的变化，并可减小光学检测元件的尺寸，而且检测精度高且操作方便。

主权项

1.一种图形定位检测装置，用于测量图形的位置变化，其特征在于，所述装置包括沿探测光路依次排列的相移模块、透射聚焦光学模块、掩模台、分光棱镜、准直模块、45度设置的分光镜以及位于所述分光镜第一出射面上的对准传感器，所述掩模台用于承载具有所述图形的掩模版；所述装置还包括：照明光源模块，其出射光经过一照明聚焦模块后，通过所述分光棱镜照射到掩模版的上表面；激光光源模块，其出射光通过一分光模块分为一束参考光和一束透射光，所述参考光通过一参考光单模光纤入射至所述分光棱镜，所述透射光通过一透射光单模光纤入射至所述透射聚焦光学模块；所述分光镜的第二出射面上还设有一成像模块和一图像传感器；所述装置还包括与上述各部件相连的主控机。