[发明专利]转换的均匀性控制无效
| 申请号： | 200810003145.1 | 申请日： | 2001-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN101241829A | 公开（公告）日： | 2008-08-13 |
| 发明（设计）人： | R·A·戈特肖;R·J·斯特格尔 | 申请（专利权）人： | 兰姆研究有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/00 | 分类号： | H01J37/00;H01J37/32;H01L21/00;H01J9/00;H05H1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨松龄 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用来在加工室内部分配分量的分量供给机构。此分量被用来对加工室中的工件进行加工。此分量供给机构包括多个用来将分量输出到加工室的所希望区域的分量输出。此分量供给机构还包括耦合到多个分量输出的空间分配开关。此空间分配开关被设置成将分量引导到多个分量输出中的至少一个。此分量供给机构还包括耦合到空间分配开关的单一分量源。此单一分量源被设置成将分量供应到空间分配开关。 | ||
| 搜索关键词： | 转换 均匀 控制 | ||
【主权项】：
1.一种用工艺方法的等离子体形成分量对工件进行加工的方法，包括：提供加工室，工件在该加工室中被加工，并且加工室包括至少第一加工区和第二加工区，各个加工区代表被加工的工件的一部分；将等离子体形成分量输出到加工室的第一加工区中而不用将等离子体形成分量输出到加工室的第二加工区中，该等离子体形成分量是从加工室的周围部位被输出到第二加工室中；在将等离子体形成分量输出到第一加工区的步骤和将等离子体形成分量输出到第二加工区的步骤之间连续进行转换，以便在加工室的内部的第一和第二加工区中连续产生或保持单一等离子体的时候影响在第一和第二加工区之间的等离子体形成分量的浓度。
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