[发明专利]MEMS磁性能在线测试结构无效
| 申请号： | 200710137430.8 | 申请日： | 2007-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN101153895A | 公开（公告）日： | 2008-04-02 |
| 发明（设计）人： | 刘肃;刘林生;黄庆安;李伟华 | 申请（专利权）人： | 兰州大学 |
| 主分类号： | G01R33/02 | 分类号： | G01R33/02;G01R33/16 |
| 代理公司： | 兰州振华专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张晋 |
| 地址： | 730000甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开一种对在线微电子机械系统MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)磁性能进行测试的方法及这种方法所用的相关结构，特别是对薄膜磁学性能测量的方法，如对MEMS的磁导率、磁化强度和矫顽力等的测量。本发明的方法是在微电子机械系统的同一基片上且与待测微电子机械系统最近距离处，用与建立待测微电子机械系统相同的工艺条件建立一个陪管单元，在测量时通过测量陪管单元的磁性能，间接得到待测系统的磁性能。 | ||
| 搜索关键词： | mems 磁性 在线 测试 结构 | ||
【主权项】：
1.测量在线微电子机械系统磁性能的方法，其特征是在微电子机械系统的同一基片上且与待测微电子机械系统旁，用与建立待测微电子机械系统相同的工艺条件建立一个陪管单元，在测量时通过测量陪管单元的磁性能，间接得到待测系统的磁性能。
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